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Ryssel, Heiner (Hrsg.)Dirnecker, Tobias:
Untersuchung von Aufladungseffekten bei der Ionenimplantation.
Bd. 2. Aachen : Shaker Verlag, 2006
(Erlanger Berichte Mikroelektronik).
- 130 Seiten. ISBN 3-8322-5081-6
Stichwörter: elektrischer-Kondensator; elektrische-Aufladung; Ionenimplantation; Ionenbeschuss; Metalloxidhalbleiter; Halbleiterbauelement; Polysilicium; Leckstrom; Photolack
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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