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Rommel, Mathias ; Groß, Michael ; Ettinger, Anke ; Lemberger, Martin ; Bauer, Anton ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner: Wafer Scale Characterization of Interface State Densities Without Test Structures by Photocurrent Analysis. Vortrag: DECON 2005, "Crystalline Defects and Contamination: Their Impact and Control in Device Manufacturing IV", Grenoble, France, 12. - 15. Dezember.2005
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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