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Rommel, Mathias ; Groß, Michael ; Ettinger, Anke ; Lemberger, Martin ; Bauer, Anton ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner:
Wafer Scale Characterization of Interface State Densities Without Test Structures by Photocurrent Analysis.
Vortrag: DECON 2005, "Crystalline Defects and Contamination: Their Impact and Control in Device Manufacturing IV",
Grenoble, France, 12. - 15. Dezember.2005
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
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