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Häublein, Volker ; Sadrawetz, S. ; Frey, Lothar ; Martinz, H. ; Ryssel, Heiner:
Investigations into the Wear of a WL10 Ion Source.
In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 237 (2005), Nr. 1-2, S. 341-345
Stichwörter: WL10; Ion sources; Wear; Ion implantation
[doi>10.1016/j.nimb.2005.05.011]

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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