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Häublein, Volker ; Sadrawetz, S. ;
Frey, Lothar
; Martinz, H. ;
Ryssel, Heiner
:
Investigations into the Wear of a WL10 Ion Source
.
In:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
237 (2005), Nr. 1-2, S. 341-345
Stichwörter:
WL10; Ion sources; Wear; Ion implantation
[doi>
10.1016/j.nimb.2005.05.011
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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