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Steen, Christian ; Pichler, Peter ; Ryssel, Heiner ; Pei, L. ; Duscher, G. ; Windl, W. ; Östling, M.:
Distribution, Segregation and Dose-Loss of Dopants in Deca Nanometer SOI Structures.
Vortrag: Poster-Präsentation auf dem "Forum on Europe-USA Collaboration in Materials Research" im Rahmen der Frühjahrstagung der "European Materials Research Society" (EMRS),
Strasbourg (Frankreich), 30. - 31. Mai.2005
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
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