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Rambach, Martin ; Bauer, Anton ;
Frey, Lothar
; Friedrichs, P. ;
Ryssel, Heiner
:
Annealing of Aluminium Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing
.
In:
Proceedings of ECSCRM, Materials Science Forum
(2005), Nr. 621, S. 483
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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