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Darstellung   Druckansicht      Außerdem im UnivIS   Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen Vorlesungsverzeichnis     Veranstaltungskalender Stellenangebote Möbel-/Rechnerbörse	Yasenov, Nedyu ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner ; Soncini, G.: Aluminium Nitride Thin Films for a Micromechanical Ultrasonic Liquid Nebulizer. In: Proceedings of the 9th Italian Conference on Sensors and Microsystems (Hrsg.) : Proceedings of the 9th Italian Conference on Sensors and Microsystems (SENSORS AND MICROSYSTEMS, Singapore). 2005. [doi>10.1142/9789812701770_0037] Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof