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Häublein, Volker ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner:
Additional Peaks in Mass Spectra Due to Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction.
In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 237 (2005), Nr. 1-2, S. 346-350
Stichwörter: Mass interferences; Contamination; Ion implantation
[doi>10.1016/j.nimb.2005.05.012]

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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