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Ulrich, M. ; Burenkov, Alexander ; Ryssel, Heiner:
Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis.
Vortrag: 7th International Conference on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids (COSIRES),
Helsinki, Finnland, 28.Juni - 2. Juli.2004
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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