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Lehrer, Christoph ; Frey, Lothar ; Petersen, Silke ; Ryssel, Heiner ; Schäfer, Martin ; Sulzbach, T.:
Integration of Field Emitters into Scanning Probe Microscopy Sensors Using Focused Ion and Electron Beams.
In: Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 22 (2004), Nr. 3, S. 1402
[doi>10.1116/1.1689310]

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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