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Lehrer, Christoph ;
Frey, Lothar
; Petersen, Silke ;
Ryssel, Heiner
; Schäfer, Martin ; Sulzbach, T.
:
Integration of Field Emitters into Scanning Probe Microscopy Sensors Using Focused Ion and Electron Beams
.
In:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
22 (2004), Nr. 3, S. 1402
[doi>
10.1116/1.1689310
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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