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Darstellung   Druckansicht      Außerdem im UnivIS   Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen Vorlesungsverzeichnis     Veranstaltungskalender Stellenangebote Möbel-/Rechnerbörse	Lemberger, Martin ; Paskaleva, Albena ; Zürcher, S. ; Bauer, Anton ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner: Electrical Characterization and Reliability Aspects of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors. In: Microelectronic Engineering 72 (2004), Nr. 1-4, S. 315-320 [doi>10.1016/j.mee.2004.01.010] Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof