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Rambach, Martin ; Bauer, Anton ; Frey, Lothar ; Friedrichs, P. ; Ryssel, Heiner:
Annealing of Aluminium Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing.
In: Material Science Forum 621 (2004), S. 438-485

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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