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Berberich, Sven ; Bauer, Anton ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner:
Trench Sidewall Doping for Lateral Power Devices.
In: Ryssel, Heiner (Hrsg.) : Proceedings of the 33rd European Solid State Device Research Conference ESSDERC 2003Estoril, Portugal, S. 397
(ESSDERC 2003, Estoril, Portugal, 16.-18.09.2003).
2003, S. 397.

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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