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Ryssel, Heiner:
Ionenimplantation in Halbleiter - 30 Jahre und kein Ende.
Vortrag: IISB-Jahrestagung "Ionenstrahlen in der Siliciumtechnologie, Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB,
Erlangen, 24.10.2003
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
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