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Paskaleva, Albena ; Lemberger, Martin ; Zürcher, Stefan ; Bauer, Anton ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner:
Electrical Characterization of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors.
In: Ghibaudo, G. ; Vincent, E. (Hrsg.) : Proceedings of the 12th Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM 2002)
(WoDiM 2002, Grenoble, France, November 18 to 20, 2002).
Grenoble, France : IMEP, 2003, S. 53-56. - ISBN 2-9514840-0-3
[doi>10.1016/S0026-2714(03)00180-X]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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