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Darstellung   Druckansicht      Außerdem im UnivIS   Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen Vorlesungsverzeichnis     Veranstaltungskalender Stellenangebote Möbel-/Rechnerbörse	Hettwer, A. ; Benesch, N. ; Schneider, C. ; Pfitzner, Lothar ; Ryssel, Heiner: Phi Scatterometry for Integrated Linewidth and Process Control in DRAM Manufacturing. In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 15 (4) (2002), S. 470 Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof