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Leistner, Trixi
; Lehmbacher, K. ; Härter, P. ; Schmidt, C. ; Bauer, Anton ;
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
:
MOCVD of titanium dioxid on the basis of new precursors
.
In:
Journal of non-crystalline solids
303 (2002), S. 64-68
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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