Fujita, M. ; Tajima, J. ; Nakagawa, T. ; Abo, S. ; Kinomura, A. ; Paszti, F. ; Takai, M. ; Schork, R. ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner: Development of Enhanced Depth-resolution Technique for Shallow Dopant Profiles. In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research 1-4 (2002), S. 26
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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