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Beichele, A. ; Bauer, Anton ; Herden, M. ; Ryssel, Heiner:
Reliability of ultra-thin N20-nitrided oxides grown by RTP under low pressure in different gas atmospheres.
In: Solid-State Electronics 45 (2001), Nr. 8, S. 1381-1389
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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