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Ryssel, Heiner
;
Frey, Lothar
; Gyulai, J. ; Glawischnig, H.
(Hrsg.):
Proceedings of the 12th International Conference on Ion Implantation Technology
.
(IIT 2000 Alpbach, Österreich September 2000)
Piscataway (NJ) : IEEE, 2001
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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