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Darstellung   Druckansicht      Außerdem im UnivIS   Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen Vorlesungsverzeichnis     Veranstaltungskalender Stellenangebote Möbel-/Rechnerbörse	Schneider, C. ; Pfitzner, Lothar ; Ryssel, Heiner: Integrated metrology: An enabler for advanced process control (APC). In: Kissinger, G. ; Weiland, L. (Hrsg.) : Proceedings of SPIE 4406. Bellingham (WA) : SPIE, 2001, S. 118-130. Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof