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Leistner, Trixi
; Lehmbacher, K. ; Härter, P. ; Bauer, A. ;
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
:
Chemische Dampfphasenabscheidung von Materialien mit hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat
.
Vortrag: Vortrag auf der Konferenz Materials Week 2001,
München, 2. Oktober.2001
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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