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Treu, M. ; Schörner, R. ; Friedrichs, P. ; Rupp, R. ; Wiedenhofer, A. ;
Stephani, Dietrich
;
Ryssel, Heiner
:
Reliability and Degradation of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors on 4H- and 6H-Silicon Carbide
.
In:
Materials Science Forum
(2000), S. 338-342
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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