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Häublein, V ; Weiss, R. ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner:
Monte Carlo Simulation and Modeling of Ion Implantation Induced Contamination Profiles.
In: IEEE (Hrsg.) : Ion Implantation Technology 2000
(Ion Implantation Technology 2000, Alpbach, 17.-22 Sep 2000).
2000. - ISBN 0-7803-6462-7
[doi>10.1109/.2000.924247]

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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