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Funk, K. ; Häublein, Volker ; Chakor, H. ; Ameen, M. ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner ; Ramirez, A. (Hrsg.):
Investigation of Molybdenum Contamination in 11B+ and 31P+ Implants.
(XIIIth International Conference on Ion Implantation Technology (IIT 2000) Alpbach, Österreich 17.-22. September 2000)
2000

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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