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Taijima, J. ; Park, Y. ; Fujita, M. ; Takai, M. ; Schork, R. ;
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
(Hrsg.):
Enhanced Depth-Resolution Analysis with Medium Energy Ion scattering (MEIS) for Shallow Junction Profiling
.
(XIIIth International Conference on Ion Implantation Technology (IIT 2000) Alpbach, Österreich 17.-22. September 2000)
2000
[doi>
10.1109/.2000.924225
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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, Buckenhof