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Schmidt, C. ; Lehnert, W. ;
Leistner, Trixi
;
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
:
MOCVD of Ferroelectric Thin Films
.
In:
Journal de Physique IV
9 (1999), Nr. 8, S. 575-582
Stichwörter:
MOCVD; ferroelectric film
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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