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Darstellung   Druckansicht      Außerdem im UnivIS   Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen Vorlesungsverzeichnis     Veranstaltungskalender Stellenangebote Möbel-/Rechnerbörse	Ryssel, Heiner ; Frey, Lothar ; Häublein, Volker ; Lucassen, M. ; Gyulai, J.: An Analytical Model for Beam Induced Contamination in Ion Implantation. In: IEEE (Hrsg.) : Proceedings IIT (12th International Conference on Ion Implantation IIT 98, Kyoto (Japan), 22.-26. Juni). 1999, S. 498-501. Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof