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Gong, L ; Bogen, S. ;
Frey, Lothar
; Jung, W. ;
Ryssel, Heiner
:
Simulation of high energy implantation profiles in crystalline silicon
.
In:
Source of the Document European Solid-State Device Research Conference
(1992), Nr. 5435146,, S. 495-498
[doi>
10.1016/0167-9317(92)90482-7
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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