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Im Jahr 2014 erschienene Publikationen:
Systematic Analysis of the High- and Low-Field Channel Mobility in Lateral 4H-SiC MOSFETs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2013 erschienene Publikationen:
Comparative study of n-LIGBT and n-LDMOS structures on 4H-SiC
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Conduction mechanisms in thermal nitride and dry gate oxides grown on 4H-SIC
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Correlation of Interface Characteristics to Electron Mobility in Channel-implanted 4H-SiC MOSFETs
[Lehrstuhl für Angewandte Physik (Prof. Dr. Weber)]
Influence of Ion Implantation in SiC on the Channel Mobility in Lateral n-Channel MOSFETs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2012 erschienene Publikationen:
Amplitude modulated resonant push-pull driver for piezoelectric transformers in switching power applications
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Angular distributions of sputtered silicon at grazing gallium ion beam incidence
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Comparative study of electrical and microstructural properties of 4H-SiC MOSFETs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Purity of ion beams: Analysis and simulation of mass spectra and mass interferences in ion implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Solid-phase epitaxy of silicon amorphized by implantation of the alkali elements rubidium and cesium
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2011 erschienene Publikationen:
4H-SiC N-MOSFET Logic Circuits for High Temperature Operation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
A novel PWM control for a bi-directional full-bridge DC-DC converter with smooth conversion mode transitions
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Conduction Mechanisms and Environmentel Sensitivity of Solution-Processed Silicon Nanoparticle Layers for Thin-Film Tranistors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Deep Doping Profiles in Silicon Created by MeV Hydrogen Implantation: Influence of Implantation Parameters
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Defects Formed by Pulsed Laser Annealing: Electrical Properties and Depth Profiles in n-Type Silicon Measured by Deep Level Transient Spectroscopy
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Dielectric layers suitable for high voltage integrated trench capacitors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Dopant profiles in silicon created by MeV hydrogen implantation: Influence of annealing parameters
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Effects of Oxygen and Forming Gas Annealing on ZnO TFTs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Fluorine implantation for effective work function control in p-type metal-oxide-semiconductor high-k metal gate stacks
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Germanium substrate loss during thermal processing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
High pressure oxidation of 4H-SiC in nitric acid vapor
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigation of the reliability of 4H–SiC MOS devices for high temperature applications
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Lanthanoid Implantation for Effective Work Function Control in NMOS High-kappa/Metal Gate Stacks
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Monolithic RC-snubber for power electronic applications
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Properties of SiO2 and Si3N4 as Gate Dielectrics for Printed ZnO Transistors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Purity of Ion Beams: Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Tuning of Charge Carrier Density of ZnO Nanoparticle Films by Oxygen Plasma Treatment
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2010 erschienene Publikationen:
Deep doping profiles in silicon created by MeV proton implantation: Influence of implantation parameters
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Defects formed by pulsed laser annealing: electrical properties and depth profiles in n-type silicon measured by DLTS
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Dielectic Layers suitable for high voltage integrated trench capacitors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Dopant profiles in silicon created by MeV proton implantation: Influence of annealing parameters
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Effective Work function tuning in high-k dielectric metal-oxide-semiconductor stacks by fluorine and lanthanide doping
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Germanium substrate loss during thermal processing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Honeycomb Voids due to Ion Implantation in Germanium
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Impact of forming gas annealing on ZnO-TFTs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Influence of annealing temperature and measurement ambient on TFTs based on gas phase synthesized ZnO nanoparticles
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Integrierbare Bauelemente zur Erhöhung der Betriebssicherheit elektronischer Systemkomponenten im Automobil
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modeling of the effectiv work funktion instability in metal/high-k dielectric stacks
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
NMOS Logic Circuits Using 4H-SiC MOSFETs for High Temperature Applications
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Polymer bonded soft magnetics for EMI filter applications.
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Properties of SiO2 and Si3N4 as Gate Dielectrica for Printed ZnO Transistors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
The Impact of Helium Co-Implantation on Hydrogen Induced Donor Profiles in Float Zone Silicon
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
The Impact of Helium Co-Implantation on Hydrogen Induced Donor Profiles in FZ Si
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Tuning of Charge Carrier Density of ZnO Nanoparticle Films by Oxygen Plasma Treatment
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Tuning of Charge Carrier Density of ZnO Nanoparticle Films by Oxygen Plasma Treatment
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2009 erschienene Publikationen:
Analysis of the DC-arc behavior of a novel 3D-active fuse
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Effective Work Function Engineering by Lanthanide Ion Implantation of MOS Gate Stacks
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Honeycomb Voids due to Ion Implantation in Germanium
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Impact of Physical and Chemical Treatment on Si Nanoparticulate Systems
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Lanthanum implantation for threshold voltage control in metal/high-k devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Polymer bonded soft magnetics for EMI-filter applications
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Silicon Based Trench Hole Power Capacitor
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Studying in Germany
[Lehrstuhl für Informatik 10 (Systemsimulation)]
Suppression of parasitic electron injection in silicon-oxide-nitride-oxide-silicon-type memory cells using high-k capping layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2008 erschienene Publikationen:
23 Jahre Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) und Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Advanced Annealing Strategies for the 32 nm Node
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Advanced Annealing Strategies for the 32 nm Node
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Alternative Source/Drain Contact-Pad Architectures for Contact Resistance Improvement in Decananao Scales DMOS Devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Alternative Source/Drain Contact-pad Architectures for Contact Resistance Improvement in Decanano-scaled DMOS Devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
An Application-driven Improvement of the Drift-Diffusion Model for Carrier Transport in Decanano-scaled CMOS Devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Angular Distributions of Sputtered Atoms from Semiconductor Targets at Grazing Ion Beam Incidence Angles
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Application driven Simulation of Nanoscaled CMOS Transistors and Circuits
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Barrier Inhomogeneities of Tungsten Schottky Diodes on 4H-SiC
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterization of Ru and RuO_2_ Thin Films Prepared by Pulsed Metal Organic Chemical Vapor Deposition
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Custom-specific UV Nanoimprint Templates and Life-time of Antisticking Layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
DC-Arc Behavior of a Novel Active Fuse
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Detailed arsenic concentration profiles at Si/SiO_2_ interfaces
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Detailed arsenic concentration profiles at Si/SiO_2_ interfaces
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Detailed Carrier Lifetime Analysis of Iron-Contaminated Boron-doped Silicon by Comparison of Simulation and Measurement
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Dispersing and stabilizing semiconducting nanoparticles (Posterpräsentation)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Distribution and segregation of arsenic at the SiO_2_ /Si interface
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical AFM Techniques for the Advanced Characterization of Materials in Semiconductor Technology
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical and Topographical Characterization of Aluminium Implanted Layers in 4H Silicon Carbide
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Experimental Observation of FIB Induced Lateral Damage on Silicon Samples
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Fabrication and Characterization of Nanoparticulate ZnO-TFTs (Posterpräsentation)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
HfSiO/SiO2- and SiO2/HfSiO/SiO2-Gate Stacks for non-volatile memories
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
High yield aerosol synthesis of monodisperse, high-purity silicon nanoparti-cles
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
High Yield Aerosol Synthesis of Monodisperse, High-purity Silicon Nanoparticles
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Highly Filled Polymers for Power Passives Packaging
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Highly Filled Polymers for Power Passives Packaging
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Hightech-Materialien und Hybridantriebe - Forschung für die Elektronik von morgen
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Impact of Physical and Chemical Treatment on Si Nanoparticulate Systems (Posterpräsentation)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Influence of the Oxidation Temperature and Atmosphere on the Reliability of Thick Gate Oxides on the 4H-SiC C(000-1) face
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ink and Surface Modification for Printing of Nanoparticulate Functional Structures
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Implantation Into Nanoparticulate Functional Layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Implantation into Nanoparticulate Functional Layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Implantation Into Nanoparticulate Functional Layers (Posterpräsentation)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Low pressure gas phase synthesis of monodisperse, high-purity Si building blocks
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Moore's Law: Wie geht es mit Bauelementen und Materialien für die Nanoelektronik weiter
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
On the Stability of Fully Depleted SOI MOSFETs Under Lithography Process Variations
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Performance Optimization of Semiconductor Manufacturing Equipment by the Application of Discrete Event Simulation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Polymer bonded soft magnetic particles for planar inductive devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Pre-Silicon SPICE Modeling on Nano-Scaled SOI MOSFETs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Pre-Silicon SPICE Modeling on Nano-Scaled SOI MOSFETs (Poster)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Properties of TaN Thin Films Produced Using PVD Linear Dynamic Deposition Technique
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Recent Improvements in the Integration of field Emitters into Scanning Probe Microscopy Sensors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Segregation of Antimony to Si/SiO_2_ Interfaces
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Segretation onf Antimony to Si/SiO_2_ Interfaces
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Self-Aligned Growth of Organometallic Layers for Nonvolatile Memories: Comparison of Liquid-Phase and Vapor-Phase Deposition
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Simulation of Mass Interferences Considering Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
SSRM Characterisation of FIB Induced Damage in Silicon
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Suppression of Parasitic Electron Injection in SONOS type Memory Cells Using High k Capping Layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Suppression of parasitic electron injection in SONOS-type memory cells using high-k capping layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Threshold Voltage Engineering by Lanthanide Doping of the MOS Gate Stack
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Tunneling atomic-force microscopy as a highly sensitive mapping tool for the characterization of film morphology in thin high-k dielectrics
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
UV Nanoimprint Lithography Process Optimization for Electron Device Manufacturing on Nanosized Scale
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2007 erschienene Publikationen:
Characterization of the impurity profile at the SiO2/Si interface using a combination of total reflection X-ray fluorescence spectrometry and successive etching of silicon,
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterization of the Pile-Up of As at the SiO2 / Si Interface
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterization of the Pile-Up of As at the SiO2/Si Interface
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterization of the Segregation of Arsenic at the Interface SiO2/Si
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterization of the Segregation of Arsenic at the Interface SiO2/Si
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Custom-specific UV nanoimprint templates and life-time of antisticking layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Detailed Photocurrent Analysis of Iron Contaminated Boron Doped Silicon by Comparison of Simulation and Measurement
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Hafnium silicate as control oxide in non-volatile memories
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Hafnium silicate as control oxide in non-volatile memories
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
High Temperature Implantation of Aluminum in 4H Silicon Carbide
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
MOCVD of Hafnium Silicate Films Obtained from a Single-Source Precusor on Silicon and Germanium for Gate-Dielectric Applications
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
MOCVD of tantalum nitride thin films from TBTEMT single source precursor as metal electrodes in CMOS applications
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Quantitative oxide charge determination by photocurrent analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Self-Aligned Growth of Organometallic Layers for Non-Volatile Memory Application
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Silicon Technology
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Synthesis of functional nanoparticles
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
UV nanoimprint materials: Surface energies, residual layers, and imprint quality
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2006 erschienene Publikationen:
Active Fuse
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Approach for a Standardized Methodology for Multi-site Processing of 300mm Wafers at R&D-Sites
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Automobilelektronik am LEB und IISB
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Bavarian Research Cooperation for Nanoeletronics
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Creation of E-Learning Content for Microelectronics Manufacturing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Creation of E-Learning Content for Microelectronics Manufacturing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Extracting Activation and Compensation Ratio from Aluminium Implanted 4H-SiC by Modeling of Resistivity Measurements
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
German High-Tech-Corridor in Nanoelectronics Technology Research
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
HfSiO/SiO2- and SiO2/HfSiO/SiO2-Gate Stacks for non-volatile memories
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
High Temperature Implantation of Aluminium in 4H Silicon Carbide
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Lösen neue Materialien die Probleme der Mikro- und Nanoelektronik
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Neue Methoden zur automatischen Kalibrierung von Modellparametern für die Simulation optischer Lithographieprozesse
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Quantitative Oxide Charge Determination by Photocurrent Analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
The Impact of Mass Resolution on Molybdenum Contamination for B, P, BF2 and As Implantations
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Untersuchung von Aufladungseffekten bei der Ionenimplantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Well Design in a Bulk CMOS Technology with Low Mask Count
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2005 erschienene Publikationen:
Additional Peaks in Mass Spectra Due to Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Aluminium Nitride Thin Films for a Micromechanical Ultrasonic Liquid Nebulizer
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Annealing of Aluminium Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterisation of the Impurity Profile at the Interface SiO_2_/ Si Using a Combination of Total Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometry and Successive Etching of Silicon
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterization of Interface State Densities by Photocurrent Analysis: Comparison of Results for Different Insulator Layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterization of Interface State Denisties by Photocurrent Analysis: Comparison of Results for Different Insulator Layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Chemische Dampfphasenabscheidung von neuen Materialien für Sub-50-nm-Transistoren
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Distribution, Segregation and Dose-Loss of Dopants in Deca Nanometer SOI Structures
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical properties of hafnium silicate films obtained form a single-source MOCVD precursor
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
High-k Hafnium Silicate Films on Silicon and Germanium Wafers by MOCVD Using a Single-Source Precursor
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Implantation and Annealing of Aluminium in 4H Silicon Carbide
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Intelligente Batterien durch integrierte Spannungswandler
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigations into the Wear of a WL10 Ion Source
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Mikroelektronik - Schlüsseltechnologie unserer Zeit
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Nanoelectronics at the Fraunhofer IISB and the University in Erlangen
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Nanotechnology in the Fraunhofer Microelectronics Alliance (VµE)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Neuartige aktive Sicherungsbauelemente auf Silicium-Basis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Thin HfxTiySizO Films with Varying Hf to Ti Contents as Candidates for High-k Dielecrics
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Triple Trench Gate IGBTs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Triple Trench Gate IGBTs
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Unit Process Aspects for APC-software Implementation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Wafer Scale Characterization of Interface State Densities Without Test Structures by Photocurrent Analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Wafer Scale Characterization of Interface State Densities Without Test Structures by Photocurrent Analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2004 erschienene Publikationen:
3D-Feature-Scale Simulation of Sputter Etching with Coupling of Equipment Simulation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
3D-Feature-Scale Simulation of Sputter Etching with Coupling to Equipment Simulation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
3D-Simulation of Ionized Metal Plasma Vapor Depostition
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
1985 - 2004 Technologie für die Mikroelektronik
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Additional Peaks in Mass Spectra Due to Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Annealing of Aluminium Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Design, Fabrication, and Characterization of a Microactuator for Nebulazation of Fluids
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
E-Learning for Microelectronics Manufacturing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical Characterization and Reliability Aspects of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ellipsometrie zur Prozessüberwachung in der Halbleiterfertigung
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Integration of Field Emitters into Scanning Probe Microscopy Sensors Using Focused Ion and Electron Beams
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigation of Rapid Thermal Annealed pn-Junctions in SiC
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigations into the Wear of a WL10 Ion Source
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Measurement Data Evaluation for in Situ Single-wavelength Ellipsometry During Reactive Ion Etching
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Mikroelektronik - Schlüsseltechnologie unserer Zeit
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modeling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modelling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modelling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modelling of the Influence of Schottky Barrier Inhomogenities on SiC Diode Characteristics
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Optical Characterization of Ferroelectric Strontium-Bismut-Tantalate (SBT) Thin Films
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Three-Dimensional Simulation of Ionized Metal Plazma Vapor Deposition
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Vorstellung des neuen Bayerischen Forschungsverbundes für Nanoelektronik (FORNEL)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2003 erschienene Publikationen:
Defect Inspection Method for Quality Control in a Reclaim Line
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Die Entwicklung der Mikroelektronik bis 2015 nach der ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Die Rolle der Technologie: Leading Edge Silicon
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Different Ion Implanted Edge Terminations for Schottky Diodes on SiC
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical Characterization of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical Characterization of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
ENCOTION A New Simulation Tool for Energetic Contamination Analysis
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Influence of Antenna Shape and Resist Patterns on Charging Damage During Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigation of Implantation-Induced Defects in Thin Gate Oxides Using Low Field Tunnel Currents
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigation of Lanthanum Contamination from a Lanthanated Tungsten Ion Source
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigation of Rapid Thermal Annealed p-n Junctions in SiC
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Implantation and Shallow Junction Formation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ionenimplantation in Halbleiter - 30 Jahre und kein Ende
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modelling of the Influence of the Schottky Barrier Inhomogeneities on SiC Diode Characteristics
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Nanoscale Effects in Focused Ion Beam Processing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Non-destructive characterization of strontium bismuth tantalate films
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Optical characterization of ferroelectric Strontium-Bismuth-Tantalate (SBT) thin films
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Quantum Mechanical Studies of Boron Clustering in Silicon
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Three Dimensional Simulation of Superconformal Copper Deposition Based on the Curvature Enhanced Accelerator Coverage Mechanism
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Trench Sidewall Doping for Lateral Power Devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Wafer Reclaim in Semiconductor Manufacturing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Zirconium silicate films obtained from novel MOCVD precursors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2002 erschienene Publikationen:
Cell Adhesion on Modified Polyethylene
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Characterisation of BaxSr1 xTiO3 Films Using Spectroscopic Ellipsometry, Rutherfo¬rd Backscattering Spectrometry and X Ray Diffraction
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Determination of Aluminum Diffusion Parameters in Silicon
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Development of Enhanced Depth-resolution Technique for Shallow Dopant Profiles
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Effect of Barium Contamination on Gate Oxide Integrity in High-k DRAM
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
HandMon ISPM: Handling Monitoring in a Loading Station of a Furnace
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Influence of Photoresist Pattern on Charging Damage During High Current Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
MOCVD of titanium dioxid on the basis of new precursors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Phi Scatterometry for Integrated Linewidth and Process Control in DRAM Manufacturing
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Platinum Contamination Issues in Ferroelectric Memories
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Recombination Lifetimes of Iron-contaminated Silicon Wafers: Characterization through a Single Set of Capture Cross sections
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Simulation of the Influence of Via Sidewall Tapering on Step Coverage of Sputter deposited Barrier Layers
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2001 erschienene Publikationen:
Amino acids grafting of Ar+ ions modified PE
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Barium, Strontium and Bismuth Contamination in CMOS Processes
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Chemische Dampfphasenabscheidung von Materialien mit hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical reliability aspects of through the gate implanted MOS structures with thin oxides
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Fabrication of silicon aperture probes for scanning near-field optical microscopy by focused ion beam nano machining
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Impact of Platinum Contamination on Ferroelectric Memories
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Integrated metrology: An enabler for advanced process control (APC)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Limitations of focused ion beam nanomachining
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
MOCVD of Titanium Dioxide on the Basis of New Precursors
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Proceedings of the 12th International Conference on Ion Implantation Technology
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Proceedings of the 31th European Solid-State Device Research Conference
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Recombination lifetimes of iron contaminated silicon wafers: Characterization through a single set of capture cross-sections
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Reliability of ultra-thin N20-nitrided oxides grown by RTP under low pressure in different gas atmospheres
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Suppression of boron penetration through thin gate oxides by nitrogen implantation into the gate electrode
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Tungsten, Nickel, and Molybdenum Schottky Diodes with Different Edge Termination
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Tungsten, Nickel, and Molybdenum Schottky Diodes with Different Edge Termination
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 2000 erschienene Publikationen:
A Computationally Efficient Method for Three-Dimensional Simulation of Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Adhesion and proliferation of keratinocytes on ion beam modified polyethylene
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Aspects of Barium Contamination in High Dielectric Dynamic Random Access Memories
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Contamination Control for Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Contamination Control for Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Defects and Gallium-Contamination During Focused Ion Beam Micro Machining
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Diffusion (IMEC Short Course)
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Electrical Reliability Aspects of Through the Gate Implanted MOS-Structures with Thin Oxides
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Enhanced Depth-Resolution Analysis with Medium Energy Ion scattering (MEIS) for Shallow Junction Profiling
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Field emitter array fabricated using focused ion and electron beam induced reaction
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Gate Oxide Damage Due to Through the Gate Implantation in MOS-Structures with Ultrathin and Standard Oxides
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigation of Molybdenum Contamination in 11B+ and 31P+ Implants
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modeling the amorphization of Si due to the implantation of As, Ge, and Si
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modeling the pH response of silicon nitride ISFET devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modellierung der Diffusion von Aluminium in Silicium
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modelling of Intrinsic Aluminum Diffusion for Future Power Devices
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Monte Carlo Simulation and Modeling of Ion Implantation Induced Contamination Profiles
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Reliability and Degradation of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors on 4H- and 6H-Silicon Carbide
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Safety Considerations for Ion Implanters
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Safety Considerations for Ion Implanters
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Vacacny-Nitrogen Complexes in Floar-Zone Silicon
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 1999 erschienene Publikationen:
AFM and STM Investigation of Carbon Nanotubes Produced High Energy Ion Irradiation of Graphite
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
An Analytical Model for Beam Induced Contamination in Ion Implantation
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Carbon Nanotubes Produced by High Energy (E>100MeV) , Heavy Ion Irradiation of Graphite
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Comparisation of Beam-Induced Deposition Using Ion Microprobe
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Forming Nitrided Gate Oxides by Nitrogen Implantation into Substrate before Gate Oxidation by RTO
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Impurity Incorporation during Beam Assisted Processing Analyzed Using Nuclear Microprobe
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Investigation of Cu Films by Focused Ion Beam Induced Deposition Using Nuclear Microprobe
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
MOCVD of Ferroelectric Thin Films
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Modeling of Transient Enhanced Dopant Diffusion by Using a Moment-Based Model Describing Point-Defect Clustering
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
On the influence of boron-interstitial complexes on transient enhanced diffusion
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Scanning Probe Method Investigation of Carbon Nanotubes Produced by High Enery Ion Irradiation of Graphite
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Simulation of a Coating Protection for an In Situ Ellipsometer in a CVD Furnace
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
The influence of surface oxidation on the pH-sensing properties of silicon nitride
[Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente]
Im Jahr 1992 erschienene Publikationen:
Simulation of high energy implantation profiles in crystalline silicon
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