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Im Jahr 2014 erschienene Publikationen: Systematic Analysis of the High- and Low-Field Channel Mobility in Lateral 4H-SiC MOSFETs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2013 erschienene Publikationen: Comparative study of n-LIGBT and n-LDMOS structures on 4H-SiC [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Conduction mechanisms in thermal nitride and dry gate oxides grown on 4H-SIC [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Correlation of Interface Characteristics to Electron Mobility in Channel-implanted 4H-SiC MOSFETs [Lehrstuhl für Angewandte Physik (Prof. Dr. Weber)] Influence of Ion Implantation in SiC on the Channel Mobility in Lateral n-Channel MOSFETs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2012 erschienene Publikationen: Amplitude modulated resonant push-pull driver for piezoelectric transformers in switching power applications [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Angular distributions of sputtered silicon at grazing gallium ion beam incidence [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Comparative study of electrical and microstructural properties of 4H-SiC MOSFETs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Purity of ion beams: Analysis and simulation of mass spectra and mass interferences in ion implantation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Solid-phase epitaxy of silicon amorphized by implantation of the alkali elements rubidium and cesium [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2011 erschienene Publikationen: 4H-SiC N-MOSFET Logic Circuits for High Temperature Operation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] A novel PWM control for a bi-directional full-bridge DC-DC converter with smooth conversion mode transitions [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Conduction Mechanisms and Environmentel Sensitivity of Solution-Processed Silicon Nanoparticle Layers for Thin-Film Tranistors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Deep Doping Profiles in Silicon Created by MeV Hydrogen Implantation: Influence of Implantation Parameters [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Defects Formed by Pulsed Laser Annealing: Electrical Properties and Depth Profiles in n-Type Silicon Measured by Deep Level Transient Spectroscopy [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Dielectric layers suitable for high voltage integrated trench capacitors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Dopant profiles in silicon created by MeV hydrogen implantation: Influence of annealing parameters [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Effects of Oxygen and Forming Gas Annealing on ZnO TFTs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Fluorine implantation for effective work function control in p-type metal-oxide-semiconductor high-k metal gate stacks [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Germanium substrate loss during thermal processing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] High pressure oxidation of 4H-SiC in nitric acid vapor [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Investigation of the reliability of 4H–SiC MOS devices for high temperature applications [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Lanthanoid Implantation for Effective Work Function Control in NMOS High-kappa/Metal Gate Stacks [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Monolithic RC-snubber for power electronic applications [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Properties of SiO2 and Si3N4 as Gate Dielectrics for Printed ZnO Transistors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Purity of Ion Beams: Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Tuning of Charge Carrier Density of ZnO Nanoparticle Films by Oxygen Plasma Treatment [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2010 erschienene Publikationen: Deep doping profiles in silicon created by MeV proton implantation: Influence of implantation parameters [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Defects formed by pulsed laser annealing: electrical properties and depth profiles in n-type silicon measured by DLTS [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Dielectic Layers suitable for high voltage integrated trench capacitors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Dopant profiles in silicon created by MeV proton implantation: Influence of annealing parameters [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Effective Work function tuning in high-k dielectric metal-oxide-semiconductor stacks by fluorine and lanthanide doping [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Germanium substrate loss during thermal processing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Honeycomb Voids due to Ion Implantation in Germanium [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Impact of forming gas annealing on ZnO-TFTs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Influence of annealing temperature and measurement ambient on TFTs based on gas phase synthesized ZnO nanoparticles [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Integrierbare Bauelemente zur Erhöhung der Betriebssicherheit elektronischer Systemkomponenten im Automobil [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Modeling of the effectiv work funktion instability in metal/high-k dielectric stacks [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] NMOS Logic Circuits Using 4H-SiC MOSFETs for High Temperature Applications [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Polymer bonded soft magnetics for EMI filter applications. [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Properties of SiO2 and Si3N4 as Gate Dielectrica for Printed ZnO Transistors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] The Impact of Helium Co-Implantation on Hydrogen Induced Donor Profiles in Float Zone Silicon [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] The Impact of Helium Co-Implantation on Hydrogen Induced Donor Profiles in FZ Si [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Tuning of Charge Carrier Density of ZnO Nanoparticle Films by Oxygen Plasma Treatment [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Tuning of Charge Carrier Density of ZnO Nanoparticle Films by Oxygen Plasma Treatment [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2009 erschienene Publikationen: Analysis of the DC-arc behavior of a novel 3D-active fuse [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Effective Work Function Engineering by Lanthanide Ion Implantation of MOS Gate Stacks [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Honeycomb Voids due to Ion Implantation in Germanium [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Impact of Physical and Chemical Treatment on Si Nanoparticulate Systems [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Lanthanum implantation for threshold voltage control in metal/high-k devices [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Polymer bonded soft magnetics for EMI-filter applications [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Silicon Based Trench Hole Power Capacitor [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Studying in Germany [Lehrstuhl für Informatik 10 (Systemsimulation)] Suppression of parasitic electron injection in silicon-oxide-nitride-oxide-silicon-type memory cells using high-k capping layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2008 erschienene Publikationen: 23 Jahre Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) und Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Advanced Annealing Strategies for the 32 nm Node [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Advanced Annealing Strategies for the 32 nm Node [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Alternative Source/Drain Contact-Pad Architectures for Contact Resistance Improvement in Decananao Scales DMOS Devices [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Alternative Source/Drain Contact-pad Architectures for Contact Resistance Improvement in Decanano-scaled DMOS Devices [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] An Application-driven Improvement of the Drift-Diffusion Model for Carrier Transport in Decanano-scaled CMOS Devices [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Angular Distributions of Sputtered Atoms from Semiconductor Targets at Grazing Ion Beam Incidence Angles [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Application driven Simulation of Nanoscaled CMOS Transistors and Circuits [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Barrier Inhomogeneities of Tungsten Schottky Diodes on 4H-SiC [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterization of Ru and RuO_2_ Thin Films Prepared by Pulsed Metal Organic Chemical Vapor Deposition [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Custom-specific UV Nanoimprint Templates and Life-time of Antisticking Layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] DC-Arc Behavior of a Novel Active Fuse [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Detailed arsenic concentration profiles at Si/SiO_2_ interfaces [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Detailed arsenic concentration profiles at Si/SiO_2_ interfaces [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Detailed Carrier Lifetime Analysis of Iron-Contaminated Boron-doped Silicon by Comparison of Simulation and Measurement [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Dispersing and stabilizing semiconducting nanoparticles (Posterpräsentation) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Distribution and segregation of arsenic at the SiO_2_ /Si interface [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Electrical AFM Techniques for the Advanced Characterization of Materials in Semiconductor Technology [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Electrical and Topographical Characterization of Aluminium Implanted Layers in 4H Silicon Carbide [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Experimental Observation of FIB Induced Lateral Damage on Silicon Samples [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Fabrication and Characterization of Nanoparticulate ZnO-TFTs (Posterpräsentation) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] HfSiO/SiO2- and SiO2/HfSiO/SiO2-Gate Stacks for non-volatile memories [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] High yield aerosol synthesis of monodisperse, high-purity silicon nanoparti-cles [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] High Yield Aerosol Synthesis of Monodisperse, High-purity Silicon Nanoparticles [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Highly Filled Polymers for Power Passives Packaging [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Highly Filled Polymers for Power Passives Packaging [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Hightech-Materialien und Hybridantriebe - Forschung für die Elektronik von morgen [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Impact of Physical and Chemical Treatment on Si Nanoparticulate Systems (Posterpräsentation) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Influence of the Oxidation Temperature and Atmosphere on the Reliability of Thick Gate Oxides on the 4H-SiC C(000-1) face [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ink and Surface Modification for Printing of Nanoparticulate Functional Structures [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ion Implantation Into Nanoparticulate Functional Layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ion Implantation into Nanoparticulate Functional Layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ion Implantation Into Nanoparticulate Functional Layers (Posterpräsentation) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Low pressure gas phase synthesis of monodisperse, high-purity Si building blocks [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Moore's Law: Wie geht es mit Bauelementen und Materialien für die Nanoelektronik weiter [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] On the Stability of Fully Depleted SOI MOSFETs Under Lithography Process Variations [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Performance Optimization of Semiconductor Manufacturing Equipment by the Application of Discrete Event Simulation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Polymer bonded soft magnetic particles for planar inductive devices [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Pre-Silicon SPICE Modeling on Nano-Scaled SOI MOSFETs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Pre-Silicon SPICE Modeling on Nano-Scaled SOI MOSFETs (Poster) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Properties of TaN Thin Films Produced Using PVD Linear Dynamic Deposition Technique [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Recent Improvements in the Integration of field Emitters into Scanning Probe Microscopy Sensors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Segregation of Antimony to Si/SiO_2_ Interfaces [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Segretation onf Antimony to Si/SiO_2_ Interfaces [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Self-Aligned Growth of Organometallic Layers for Nonvolatile Memories: Comparison of Liquid-Phase and Vapor-Phase Deposition [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Simulation of Mass Interferences Considering Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] SSRM Characterisation of FIB Induced Damage in Silicon [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Suppression of Parasitic Electron Injection in SONOS type Memory Cells Using High k Capping Layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Suppression of parasitic electron injection in SONOS-type memory cells using high-k capping layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Threshold Voltage Engineering by Lanthanide Doping of the MOS Gate Stack [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Tunneling atomic-force microscopy as a highly sensitive mapping tool for the characterization of film morphology in thin high-k dielectrics [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] UV Nanoimprint Lithography Process Optimization for Electron Device Manufacturing on Nanosized Scale [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2007 erschienene Publikationen: Characterization of the impurity profile at the SiO2/Si interface using a combination of total reflection X-ray fluorescence spectrometry and successive etching of silicon, [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterization of the Pile-Up of As at the SiO2 / Si Interface [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterization of the Pile-Up of As at the SiO2/Si Interface [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterization of the Segregation of Arsenic at the Interface SiO2/Si [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterization of the Segregation of Arsenic at the Interface SiO2/Si [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Custom-specific UV nanoimprint templates and life-time of antisticking layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Detailed Photocurrent Analysis of Iron Contaminated Boron Doped Silicon by Comparison of Simulation and Measurement [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Hafnium silicate as control oxide in non-volatile memories [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Hafnium silicate as control oxide in non-volatile memories [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] High Temperature Implantation of Aluminum in 4H Silicon Carbide [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] MOCVD of Hafnium Silicate Films Obtained from a Single-Source Precusor on Silicon and Germanium for Gate-Dielectric Applications [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] MOCVD of tantalum nitride thin films from TBTEMT single source precursor as metal electrodes in CMOS applications [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Quantitative oxide charge determination by photocurrent analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Self-Aligned Growth of Organometallic Layers for Non-Volatile Memory Application [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Silicon Technology [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Synthesis of functional nanoparticles [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] UV nanoimprint materials: Surface energies, residual layers, and imprint quality [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2006 erschienene Publikationen: Active Fuse [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Approach for a Standardized Methodology for Multi-site Processing of 300mm Wafers at R&D-Sites [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Automobilelektronik am LEB und IISB [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Bavarian Research Cooperation for Nanoeletronics [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Creation of E-Learning Content for Microelectronics Manufacturing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Creation of E-Learning Content for Microelectronics Manufacturing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Extracting Activation and Compensation Ratio from Aluminium Implanted 4H-SiC by Modeling of Resistivity Measurements [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] German High-Tech-Corridor in Nanoelectronics Technology Research [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] HfSiO/SiO2- and SiO2/HfSiO/SiO2-Gate Stacks for non-volatile memories [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] High Temperature Implantation of Aluminium in 4H Silicon Carbide [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Lösen neue Materialien die Probleme der Mikro- und Nanoelektronik [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Neue Methoden zur automatischen Kalibrierung von Modellparametern für die Simulation optischer Lithographieprozesse [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Quantitative Oxide Charge Determination by Photocurrent Analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] The Impact of Mass Resolution on Molybdenum Contamination for B, P, BF2 and As Implantations [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Untersuchung von Aufladungseffekten bei der Ionenimplantation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Well Design in a Bulk CMOS Technology with Low Mask Count [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2005 erschienene Publikationen: Additional Peaks in Mass Spectra Due to Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Aluminium Nitride Thin Films for a Micromechanical Ultrasonic Liquid Nebulizer [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Annealing of Aluminium Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterisation of the Impurity Profile at the Interface SiO_2_/ Si Using a Combination of Total Reflection X-Ray Fluorescence Spectrometry and Successive Etching of Silicon [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterization of Interface State Densities by Photocurrent Analysis: Comparison of Results for Different Insulator Layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterization of Interface State Denisties by Photocurrent Analysis: Comparison of Results for Different Insulator Layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Chemische Dampfphasenabscheidung von neuen Materialien für Sub-50-nm-Transistoren [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Distribution, Segregation and Dose-Loss of Dopants in Deca Nanometer SOI Structures [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Electrical properties of hafnium silicate films obtained form a single-source MOCVD precursor [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] High-k Hafnium Silicate Films on Silicon and Germanium Wafers by MOCVD Using a Single-Source Precursor [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Implantation and Annealing of Aluminium in 4H Silicon Carbide [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Intelligente Batterien durch integrierte Spannungswandler [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Investigations into the Wear of a WL10 Ion Source [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Mikroelektronik - Schlüsseltechnologie unserer Zeit [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Nanoelectronics at the Fraunhofer IISB and the University in Erlangen [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Nanotechnology in the Fraunhofer Microelectronics Alliance (VµE) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Neuartige aktive Sicherungsbauelemente auf Silicium-Basis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Thin HfxTiySizO Films with Varying Hf to Ti Contents as Candidates for High-k Dielecrics [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Triple Trench Gate IGBTs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Triple Trench Gate IGBTs [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Unit Process Aspects for APC-software Implementation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Wafer Scale Characterization of Interface State Densities Without Test Structures by Photocurrent Analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Wafer Scale Characterization of Interface State Densities Without Test Structures by Photocurrent Analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2004 erschienene Publikationen: 3D-Feature-Scale Simulation of Sputter Etching with Coupling of Equipment Simulation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] 3D-Feature-Scale Simulation of Sputter Etching with Coupling to Equipment Simulation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] 3D-Simulation of Ionized Metal Plasma Vapor Depostition [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] 1985 - 2004 Technologie für die Mikroelektronik [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Additional Peaks in Mass Spectra Due to Charge Exchange Events and Dissociation of Molecular Ions During Extraction [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Annealing of Aluminium Implanted 4H-SiC: Comparison of Furnace and Lamp Annealing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Design, Fabrication, and Characterization of a Microactuator for Nebulazation of Fluids [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] E-Learning for Microelectronics Manufacturing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Electrical Characterization and Reliability Aspects of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ellipsometrie zur Prozessüberwachung in der Halbleiterfertigung [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Integration of Field Emitters into Scanning Probe Microscopy Sensors Using Focused Ion and Electron Beams [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Investigation of Rapid Thermal Annealed pn-Junctions in SiC [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Investigations into the Wear of a WL10 Ion Source [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ion Sputtering at Grazing Incidence for SIMS-Analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Measurement Data Evaluation for in Situ Single-wavelength Ellipsometry During Reactive Ion Etching [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Mikroelektronik - Schlüsseltechnologie unserer Zeit [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Modeling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Modelling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Modelling of Chemical-Mechanical Polishing on Patterned Wafers as Part of Integrated Topography Process Simulation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Modelling of the Influence of Schottky Barrier Inhomogenities on SiC Diode Characteristics [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Optical Characterization of Ferroelectric Strontium-Bismut-Tantalate (SBT) Thin Films [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Three-Dimensional Simulation of Ionized Metal Plazma Vapor Deposition [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Vorstellung des neuen Bayerischen Forschungsverbundes für Nanoelektronik (FORNEL) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2003 erschienene Publikationen: Defect Inspection Method for Quality Control in a Reclaim Line [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Die Entwicklung der Mikroelektronik bis 2015 nach der ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Die Rolle der Technologie: Leading Edge Silicon [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Different Ion Implanted Edge Terminations for Schottky Diodes on SiC [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Electrical Characterization of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Electrical Characterization of Zirconium Silicate Films Obtained from Novel MOCVD Precursors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] ENCOTION A New Simulation Tool for Energetic Contamination Analysis [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Influence of Antenna Shape and Resist Patterns on Charging Damage During Ion Implantation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Investigation of Implantation-Induced Defects in Thin Gate Oxides Using Low Field Tunnel Currents [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Investigation of Lanthanum Contamination from a Lanthanated Tungsten Ion Source [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Investigation of Rapid Thermal Annealed p-n Junctions in SiC [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ion Implantation and Shallow Junction Formation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Ionenimplantation in Halbleiter - 30 Jahre und kein Ende [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Modelling of the Influence of the Schottky Barrier Inhomogeneities on SiC Diode Characteristics [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Nanoscale Effects in Focused Ion Beam Processing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Non-destructive characterization of strontium bismuth tantalate films [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Optical characterization of ferroelectric Strontium-Bismuth-Tantalate (SBT) thin films [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Quantum Mechanical Studies of Boron Clustering in Silicon [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Three Dimensional Simulation of Superconformal Copper Deposition Based on the Curvature Enhanced Accelerator Coverage Mechanism [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Trench Sidewall Doping for Lateral Power Devices [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Wafer Reclaim in Semiconductor Manufacturing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Zirconium silicate films obtained from novel MOCVD precursors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2002 erschienene Publikationen: Cell Adhesion on Modified Polyethylene [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Characterisation of BaxSr1 xTiO3 Films Using Spectroscopic Ellipsometry, Rutherfo¬rd Backscattering Spectrometry and X Ray Diffraction [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Determination of Aluminum Diffusion Parameters in Silicon [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Development of Enhanced Depth-resolution Technique for Shallow Dopant Profiles [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Effect of Barium Contamination on Gate Oxide Integrity in High-k DRAM [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] HandMon ISPM: Handling Monitoring in a Loading Station of a Furnace [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Influence of Photoresist Pattern on Charging Damage During High Current Ion Implantation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] MOCVD of titanium dioxid on the basis of new precursors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Phi Scatterometry for Integrated Linewidth and Process Control in DRAM Manufacturing [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Platinum Contamination Issues in Ferroelectric Memories [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Recombination Lifetimes of Iron-contaminated Silicon Wafers: Characterization through a Single Set of Capture Cross sections [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Simulation of the Influence of Via Sidewall Tapering on Step Coverage of Sputter deposited Barrier Layers [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2001 erschienene Publikationen: Amino acids grafting of Ar+ ions modified PE [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Barium, Strontium and Bismuth Contamination in CMOS Processes [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Chemische Dampfphasenabscheidung von Materialien mit hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Electrical reliability aspects of through the gate implanted MOS structures with thin oxides [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Fabrication of silicon aperture probes for scanning near-field optical microscopy by focused ion beam nano machining [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Impact of Platinum Contamination on Ferroelectric Memories [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Integrated metrology: An enabler for advanced process control (APC) [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Limitations of focused ion beam nanomachining [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] MOCVD of Titanium Dioxide on the Basis of New Precursors [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Proceedings of the 12th International Conference on Ion Implantation Technology [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Proceedings of the 31th European Solid-State Device Research Conference [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Recombination lifetimes of iron contaminated silicon wafers: Characterization through a single set of capture cross-sections [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Reliability of ultra-thin N20-nitrided oxides grown by RTP under low pressure in different gas atmospheres [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Suppression of boron penetration through thin gate oxides by nitrogen implantation into the gate electrode [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Tungsten, Nickel, and Molybdenum Schottky Diodes with Different Edge Termination [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Tungsten, Nickel, and Molybdenum Schottky Diodes with Different Edge Termination [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Im Jahr 2000 erschienene Publikationen: A Computationally Efficient Method for Three-Dimensional Simulation of Ion Implantation [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Adhesion and proliferation of keratinocytes on ion beam modified polyethylene [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Aspects of Barium Contamination in High Dielectric Dynamic Random Access Memories [Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente] Contamination Control for Ion Implantation [Lehrstuhl für Elektronische 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