Optical Lithography: Technology, Physical Effects and Modeling (Prüfungsordnungsmodul)5 ECTS
(englische Bezeichnung: Optical Lithography: Technology, Physical Effects and Modeling)

Die Beschreibung eines Prüfungsordnungsmoduls enthält allgemeine Angaben zur Verwendbarkeit und zu den Rahmenbedingungen für Prüfungen, so wie sie in den Prüfungsordnungen festgelegt sind. Zusätzlich kann eine allgemeine Modulbeschreibung, die übergreifend für alle konkreten (UnivIS-)Module gilt, enthalten sein. Die konkreten Modulbeschreibungen mit Angaben zu den Lehrveranstaltungen und Prüfungsdetails sind unter den zugeordneten UnivIS-Modulen zu finden.

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:

1. Advanced Optical Technologies (Master of Science)
   (Po-Vers. 2018w | TechFak | Advanced Optical Technologies (Master of Science) | Gesamtkonto | Major Topics | Optical Material Processing | Optical Lithography: Technology, Physical Effects and Modeling)
2. Advanced Optical Technologies (Master of Science)
   (Po-Vers. 2018w | TechFak | Advanced Optical Technologies (Master of Science) | Gesamtkonto | Major Topics | Optical Materials and Systems | Optical Lithography: Technology, Physical Effects and Modeling)

Studien-/Prüfungsleistungen:

Optical Lithography: Technology, Physical Effects and Modeling (Prüfungsnummer: 21401)
(englische Bezeichnung: Optical Lithography: Technology, Physical Effects and Modeling)

Prüfungsleistung, mündliche Prüfung, Dauer: 30 min, Drittelnoten (mit 4,3), 5 Leistungspunkte

Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %

UnivIS-Module:

UnivIS-Module im aktuellen Semester (WS 2020/2021):

• Optical Lithography (5 ECTS)